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业务领域

聚焦于高纯气体,稳定同位素,金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售
Halocarbon 23 - Trifluoromethane - 三氟甲烷 ( CHF3 )

Halocarbon 23 - Trifluoromethane - 三氟甲烷 ( CHF3 )

三氟甲烷是一种无色,不燃的液化性气体。在其自身蒸汽压力下作为一种液化性气体运输。

规格

纯度 , % 99.9 99.999
氧气 ≤80 ppmv ≤1.0 ppmv
氮气 ≤300?ppmv ≤4.0 ppmv
二氧化碳 ≤50 ppmv ≤0.5 ppmv
一氧化碳 ≤30 ppmv ≤0.5 ppmv
甲烷 ≤30 ppmv ≤0.5 ppmv
其他有机物 ≤400ppmv ≤2.0 ppmv
水分 ≤10.0 ppmv ≤2.0 ppmv
酸度 as HCL ≤1.0 ppmv ≤0.1 ppmv



运输

DOT 运输名称 三氟甲烷
DOT 分类 2.2
DOT 标签 不可燃气体
UN NO. UN 1984
CAS No. 75-46-7
CGA/DISS/JIS 660/716/W22-14L
运输状态 液化性气体



技术信息

钢瓶状况 @ 21.1°C? 液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) 不可燃
分子量 (g/mol) 70
比重 ( 空气 =1) 2.436
临界温度 ( °C ) 178.43
临界温度 ( psig ) 686.719



应用

1. 三氟甲烷是使用在氧化硅或氮化硅层的等离子蚀刻? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 2.? CHF3是一个低温制冷剂,用于替换R22


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