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业务领域

聚焦于高纯气体,稳定同位素,金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售
Phosphine - 磷烷 - ( PH3 )

Phosphine - 磷烷 - ( PH3 )

磷化氢是一种剧毒,易燃,无色有类似腐烂的鱼类的恶臭气体。气味是主观的,因此不可靠的,不应被作为是检测否存在气体的标准。可自燃,作为液化性气体运输。

规格


纯度,% 99.6 99.9997 99.9999
氧气 ≤ 1 ppmw? ≤0.1 ppmv? ≤0.1 ppmv?
氢气 ?0.4%

氮气
≤1.0 ppmv? ≤0.1 ppmv?
二氧化碳
≤0.1 ppmv? ≤0.1 ppmv?
一氧化碳
≤0.1 ppmv? ≤0.05 ppmv?
甲烷
≤0.1 ppmv? ≤0.1 ppmv?
水分
≤1.0 ppmv? ≤0.1 ppmv?
氩气

≤0.1 ppmv?
砷烷

≤0.05 ppmv?
锗烷

≤0.05 ppmv?
硫化氢

≤0.05 ppmv?
硅烷

≤0.05 ppmv?




运输


DOT 运输名称 磷烷

DOT 分类 2.3

DOT 标签 有毒, 可燃气体

UN NO. UN 2199

CAS No. 7803-51-2

CGA/DISS/JIS/BS341

/DIN477

350/632/W22-14L/NO.4/NO.1

运输状态 液化性气体





技术信息


钢瓶状况 @ 21.1°C? 液体

在空气中的燃烧极限 1.6-98%

自然温度 (°C ) 40

分子量 (g/mol) 33.998

比重 ( 空气 =1) 1.17

临界温度 ( °C ) 51.6

临界温度 ( psig ) 933.2





应用


1. 在半导体制造中,作为n型掺杂剂
2. 在半导体制造中,外延硅的制程
3. 在半导体制造中,晶源上选择区域的掺杂。
4. 在半导体制造,用于掺杂多晶硅的互连或某些电容
5. 在半导体制造中,用于形成硼磷硅玻璃
6. 在半导体制造中,离子注入。


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