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业务领域

聚焦于高纯气体,稳定同位素,金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售
Tungsten Hexafluoride-六氟化钨 -WF6

Tungsten Hexafluoride-六氟化钨 -WF6

六氟化钨是一种浅黄色的,有毒,不易燃,无臭,极强腐蚀性气体。与水激烈反应形成氢氟酸。充装在镍气瓶里面的液化性气体。

规格
纯度 , % 99.9995%
氧气 ≤ 0.5? ppmv
氮气 ≤ 0.5? ppmv
二氧化碳 ≤ 0.5? ppmv
一氧化碳 ≤ 0.5? ppmv
四氟化碳 ≤ 0.5? ppmv
四氟化硅 ≤ 0.5? ppmv
六氟化硫 ≤ 0.5? ppmv
酸度( HF ) ≤ 0.5? ppmv


运输
DOT 运输名称 六氟化钨
DOT 分类 2.3
DOT 标签 毒气,腐蚀
UN NO. UN 2196
CAS No. 7783 - 82 -6
CGA/DISS/JIS 670/638/W22-14R
运输状态 液化性气体


技术信息
钢瓶状况 @ 21.1°C? 液体
在空气中的燃烧极限 不可燃
自然温度 (°C ) -
分子量 (g/mol) 297.84
比重 ( 空气 =1) 10.674
临界温度 ( °C ) 169.67
临界温度 ( psig ) 604.6


应用
用于半导体工程,在化学气相沉积( CVD ) 工程中作为金属触点( Metal Contact ) 形成的用途,主要用于半导体制作工程中,作为形成接点插座( Contract Plug ) 的金属材料。


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