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Trans-1,2-Dichloroethylene(DCE、TRANS-LC)-反式-1,2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC-C2H2Cl2

Trans-1,2-Dichloroethylene(DCE、TRANS-LC)-反式-1,2-二氯乙烯/DCE/TRANS-LC-C2H2Cl2

名称 反式-1,2-二氯乙烯/DCE/ TRANS-LC
化学式 ?C2H2Cl2
相对分子量 96.94
CAS号 156-60-5
理化性质 无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.265g/ml。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
主要用途: 高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)、光伏制造业所需的电子化学品。
产品标准:
项目Item 标准值Standard Value 项目Item 标准值Standard Value
? 99.999995%(7.5N) 锰(Mn)max 0.1ppb
铝(Al)max 0.3ppb 钠(Na)max 0.2ppb
银(Ag)max 0.1ppb 镍(Ni)max 0.1ppb
砷(As)max 0.1ppb 铌(Nb)max 0.1ppb
金(Au)max 0.1ppb 磷(P )max 1.0ppb
硼(B )max 1.0ppb 铅(Pb)max 0.1ppb
钡(Ba)max 0.1ppb 锑(Sb)max 0.1ppb
铋(Bi)max 0.1ppb 锡(Sn)max 0.1ppb
钙(Ca)max 0.8ppb 锶(Sr)max 0.1ppb
镉(Cd)max 0.1ppb 钛(Ti)max 0.1ppb
钴(Co)max 0.1ppb 锌(Zn)max 0.2ppb
铜(Cu)max 0.1ppb 酸度? ?max 5ppm
铬(Cr)max 0.1ppb 水份? ?max 20ppm
铁(Fe)max 0.6ppb 颗粒数≥0.1μm max 5p/ml
镓(Ga)max 0.1ppb 颗粒数≥0.2μm max 3p/ml
汞(Hg)max 0.1ppb 颗粒数≥0.5μm max 1p/ml
钾( K)max 0.2ppb 色度 <10APHA
锂(Li)max 0.1ppb 外观 无色透明液体
镁(Mg)max 0.1ppb 保质期 24个月
包装方式: 容器:石英源瓶
规格: 1500ml, 1000ml, 500ml, 400ml
外包装:容器外套厚质PVC胶袋,PE专用箱内置海绵缓冲


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