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业务领域

聚焦于高纯气体,稳定同位素,金属化合物和高纯化学品等化工新材料的供应和销售
Electronic Grade Ethyl Silicate-正硅酸四乙酯/TEOS-C8H20O4Si

Electronic Grade Ethyl Silicate-正硅酸四乙酯/TEOS-C8H20O4Si

名称 正硅酸四乙酯(TEOS)
化学式 C8H20O4Si
相对分子量 208.33
CAS号 28767
理化性质 无色透明液体,熔点-77℃,沸点168.5℃,密度0.9346g/ml。在空气中较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。
主要用途 主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅和氮化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。
典型应用


CVD类型 材料

APCVD TEOS,O3

LPCVD TEOS

PECVD TEOS,O2

产品标准


项目Item 标准值Standard Value 项目Item 标准值Standard Value
? 99.999999% (8N) 铌(Nb)max 0.1ppb
铝(Al)max 0.2ppb 镍(Ni)max 0.2ppb
银(Ag)max 0.1ppb 铅(Pb)max 0.1ppb
砷(As)max 0.4ppb 锑(Sb)max 0.1ppb
金(Au)max 0.1ppb 锡(Sn)max 0.2ppb
硼 (B)max 0.5ppb 锶(Sr)max 0.1ppb
钡(Ba)max 0.1ppb 钍(Th)max 0.1ppb
铍(Be)max 0.1ppb 钛(Ti)max 0.1ppb
铋(Bi)max 0.1ppb 铀(U )max 0.1ppb
钙(Ca)max 0.5ppb 钒(V )max 0.1ppb
镉(Cd)max 0.1ppb 钨(W )max 0.1ppb
钴(Co)max 0.4ppb 锌(Zn)max 0.2ppb
铜(Cu)max 0.2ppb 锆(Zr)max 0.1ppb
铬(Cr)max 0.2ppb Cl-???? max 0.5 ppm
铁(Fe)max 0.2ppb 水份??? max 5 ppm
镓(Ga)max 0.4ppb 乙醇含量 max 3 ppm
汞(Hg)max 0.3ppb 颗粒数≥0.2μm max 30 p/ml
钾( K)max 0.2ppb 颗粒数≥0.3μm max 20 p/ml
锂(Li)max 0.1ppb 颗粒数≥0.5μm max 10 p/ml
镁(Mg)max 0.5ppb 颗粒数≥1.0μm max ?3 p/ml
锰(Mn)max 0.1ppb 色度 <10APHA
钼(Mo)max 0.1ppb 外观 无色透明液体
钠(Na)max 0.5ppb 保质期 24个月
包装方法 316L不锈钢瓶,外装不锈钢柜。


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